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刻蚀 - OFweek电子工程网

2024-02-13 23:02:44|发布者: admin| 查看: 125| 评论: 0

众所周知,在目前的芯片制造工艺中,光刻机、刻蚀机是必不可少的两个重要工具。 如果从所有的半导体设备的成本来看,光刻设备占其中的20%,而蚀刻设备占其中的23%,两者占其中的43%的比例,足以...

  众所周知,在目前的芯片制造工艺中,光刻机、刻蚀机是必不可少的两个重要工具。 如果从所有的半导体设备的成本来看,光刻设备占其中的20%,而蚀刻设备占其中的23%,两者占其中的43%的比例,足以证明光刻--蚀刻有多重要了

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  半导体产品从设计到制造,大致可以分为顶层设计、晶圆制造、封装测试三大步骤。顶层设计完成后,需要晶圆加工厂根据设计图纸对晶圆进行加工,这一过程称为晶圆制造。晶圆制造包含前后两道工艺,前道工艺主要包括:扩散、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜生长、抛光和金属化;后道工艺主要是互联、打线、密封等封装工艺

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